如何對(duì)元器件進(jìn)行DPA分析?
破壞性物理分析(Destructive Physical Analysis)簡(jiǎn)稱為DPA,是為了驗(yàn)證元器件的設(shè)計(jì)、結(jié)構(gòu)、材料和制造質(zhì)量是否滿足預(yù)定用途或有關(guān)規(guī)范的要求,按元器件的生產(chǎn)批次進(jìn)行抽樣,對(duì)元器件樣品進(jìn)行非破壞性分析和破壞性分析的一系列檢驗(yàn)和分析的全過(guò)程。
DPA分析技術(shù)可以提前識(shí)別器件潛在的材料、工藝等方面的缺陷,這些缺陷引發(fā)元器件失效的時(shí)間是不確定的,但所導(dǎo)致的后果是嚴(yán)重的。
本文以某型號(hào)SMD電容為例,詳細(xì)介紹其破壞性物理分析過(guò)程。
一、案例背景
委托方提供測(cè)試樣品5pcs,測(cè)試其是否符合DPA規(guī)范要求。將其編號(hào)為01、02、03、04、05。
二、執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)
GJB 4027A-2006 軍用電子元器件破壞性物理分析方法;
GB/T 17359-2012 微束分析能譜法定量分析;
GB/T 16594-2008 微米級(jí)長(zhǎng)度的掃描電鏡測(cè)量方法通則;
SMD電容產(chǎn)品規(guī)格書。
三、分析過(guò)程
對(duì)委托方提供的樣品進(jìn)行外觀目檢,確認(rèn)其表面是否存在缺陷。
結(jié)論:符合DPA 規(guī)范要求,未發(fā)現(xiàn)樣品存在明顯缺陷。
圖1. 樣品典型外觀形貌
圖2. 器件規(guī)格書示意圖
對(duì)樣品進(jìn)行電參數(shù)測(cè)試,測(cè)試其是否滿足規(guī)格書要求。
結(jié)論:測(cè)試值滿足規(guī)格書要求。
表1. 電參數(shù)測(cè)試結(jié)果
3. 制樣鏡檢
為確認(rèn)樣品內(nèi)部是否存在缺陷,對(duì)其進(jìn)行制樣鏡檢。
結(jié)論:樣品03、04不符合DPA 規(guī)范要求。
在制樣鏡檢檢查中,發(fā)現(xiàn)樣品03、04的鎳層(阻擋層)中斷不連續(xù),根據(jù)GJB 4027A-2006中關(guān)于多層瓷介(獨(dú)石)電容器部分,第2.5.3條的要求,阻擋層中斷或不連續(xù)應(yīng)判斷為工藝缺陷。
圖3. 樣品03切片整體形貌
圖4. 樣品01側(cè)面留邊尺寸圖
圖5. 樣品03端部留邊、上下留邊尺寸
圖6. 樣品03端頭形貌
圖7. 樣品04端頭形貌
對(duì)測(cè)試樣品03進(jìn)行成分分析與尺寸測(cè)量。
結(jié)論:未見腐蝕元素。
圖8. 樣品03整體SEM形貌
圖9. 樣品03內(nèi)電極、介質(zhì)層尺寸
圖10. 樣品03端頭SEM形貌
圖11. 樣品03EDS分析
表2. 樣品03EDS測(cè)試結(jié)果(wt%)
四、結(jié)論
通過(guò)對(duì)樣品進(jìn)行外觀目檢、電參數(shù)測(cè)試、制樣鏡檢與成分分析,發(fā)現(xiàn)樣品03、04鎳層(阻擋層)中斷不連續(xù),不符合DPA規(guī)范要求。
為避免不良電容上機(jī)后,導(dǎo)致產(chǎn)品失效的隱患,建議委托方拒收該批次SMD電容。
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