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先進材料表征方法

 

X射線能譜分析(EDS) 聚焦離子束分析(FIB) 俄歇電子能譜分析(AES) X射線光電子能譜分析(XPS)
動態(tài)二次離子質(zhì)譜分析(D-SIMS) 飛行時間二次離子質(zhì)譜分析(TOF-SIMS)

 

先進材料表征方法

 

先進材料表征方法介紹

利用電子、光子、離子、原子、強電場、熱能等與固體表面的相互作用,測量從表面散射或發(fā)射的電子、光子、離子、原子、分子的能譜、光譜、質(zhì)譜、空間分布或衍射圖像,表征材料表面微觀形貌、表面粗糙度、表面微區(qū)成分、表面組織結(jié)構(gòu)、表面相結(jié)構(gòu)、表面鍍層結(jié)構(gòu)及成分等相關(guān)參數(shù)。

 

應(yīng)用領(lǐng)域

材料、電子、汽車、航空、機械加工、半導(dǎo)體制造、陶瓷品、化學(xué)、醫(yī)學(xué)、生物、冶金、地質(zhì)學(xué)等。

 

常用檢測技術(shù)分析深度

 

常用檢測技術(shù)分析深度

 

分辨率和探測分析能力

 

分辨率和探測分析能力

 

檢測分析方法介紹

 

分析方法 典型應(yīng)用
俄歇電子能譜(AES) 表面微區(qū)分析; 深度剖面分析
X射線光電子能譜(XPS/ESCA) 表面元素及價態(tài)分析;
深度剖面分析
動態(tài)二次離子質(zhì)譜(D-SIMS) 對薄膜材料表面元素進行深度分析
飛行時間二次離子質(zhì)譜(TOF-SIMS) 有機材料和無機材料的表面微量分析;
表面離子成像;
深度剖面分析;
輝光放電質(zhì)譜(GDMS) 微量和超微量元素分析;深度剖面分析
掃描電子顯微鏡&X射線能譜(SEM/EDS) 表面形貌觀察; 微米尺寸測量;
微區(qū)成分分析; 污染物分析
X射線熒光分析(XRF) 測量達到幾個微米的金屬薄膜的厚度;
未知固相、 液相和粉體中的元素識別;
金屬合金的鑒定
傅?葉紅外光譜(FTIR) 識別聚合物和有機物;污染物分析
透射電子顯微鏡&電子能量損失譜(TEM/EELS) 微區(qū)成分分析;晶體結(jié)構(gòu)分析;晶格成像
背散射電子衍射(EBSD) 晶粒尺寸; 晶格方向; 晶粒錯位; 結(jié)晶度
X射線衍射(XRD) 相結(jié)構(gòu)分析; 晶體取向和晶體質(zhì)量; 結(jié)晶度; 金屬和陶瓷上的殘余應(yīng)力
掃描探針顯微鏡、原子力顯微鏡(SPM/AFM) 三維表面結(jié)構(gòu)圖像, 包含表面粗糙度、微粒尺寸、 步進高度、 傾斜度
拉曼光譜(Raman)

識別有機物和無機物的分子結(jié)構(gòu);

金剛石和石墨的碳層特征; 污染物分析

聚焦離子束(FIB) 非接觸式樣品準(zhǔn)備; 芯片電路修改
離子研磨拋光(CP) 樣品微區(qū)切割

 

典型檢測分析圖示

 

典型檢測分析圖示

 

 

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